Томские ученые разрабатывают установку для измерения параметров поверхности полупроводниковых пластин
13.08.2024
Текст: Василий Корнилов
Финансирование проекта в размере 238 млн рублей осуществляется в рамках госпрограммы.
Источник фото: сайт ТУСУРа
По данным агентства «Интерфакс», специалисты ТУСУРа планируют разработать установку под названием профилометр. Работы должны быть завершены до конца 2027 года.
– Профилометр необходим при производстве микроэлектроники. На этапах прохождения полупроводниковой пластины по маршруту он задействуется после каждой технологической операции формирования фоторезистивной маски и топологии микросхемы. Это важная операция в технологическом маршруте – на основе результатов тестирования можно либо оперативно скорректировать технологический процесс, либо удостовериться, что все делается правильно, – рассказал директор НОЦ «Нанотехнологии» Евгения Шестерикова.
Отмечается, что в число задач прибора входят контроль шероховатости и рельефа поверхности полупроводниковых пластин, измерение высоты, а также составление 3D-карты профиля топологии изготавливаемых микросхем на различных этапах технологического процесса.
К настоящему времени в вузе создан макет измерительной головки на основе оптической интерферометрической системы измерения, в которой задействован лазер и оптический приемник. Кроме того, ученые ведут работу над роботом-загрузчиком и системой прецизионного перемещения пластины.