В Томске разрабатывают систему контроля производства микроэлектроники

Сообщает Инновационный портал Томской области.

Компании:

Ученые Томского университета систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) разрабатывают интеллектуальную систему контроля технологических процессов полупроводникового производства на основе методов машинного обучения. Новое решение должно увеличить производительность предприятий электронной промышленности.

– Наше решение позволяет отслеживать отклонения техпроцесса от заданной технологии в режиме онлайн, – заявил магистр кафедры физической электроники ТУСУР Артем Попов. – С помощью датчиков собирается информация о процессе обработки текущей пластины и далее определяется контролируемый параметр, величина которого наиболее критична для данного техпроцесса. По величине данного параметра мы определяем, следует ли вносить корректировки в техпроцесс или нет.

Для обеспечения контроля всех пластин в разработке используются методы машинного обучения: алгоритм на языке программирования обучает модель, которая предсказывает результат проведения техпроцесса по данным с датчиков технологической установки. Такую модель можно сохранить и использовать на компьютерах фабрики.

– Сложность в том, что каждый техпроцесс уникален: если меняются характеристики установки, нужно менять и модель, – пояснил Артем Попов. – Если получится сделать систему, в которую просто дают данные, и она обучается – неважно, какой техпроцесс, – это будет прорыв. Сейчас мы сосредоточены на том, чтобы сконцентрировать общий подход, а на втором этапе будем делать тонкие настройки в модели, чтобы повысить точность. Контроль всех пластин даст значительную экономию времени и повышение процента выхода годных изделий. Сейчас, для того чтобы оставаться на рынке, нужно обеспечить выход годной конечной продукции на уровне 90%, как у гигантов вроде Intel или TSMC. В России с этим есть трудности, потому что система контроля развивается медленнее, чем хотелось бы.

По словам разработчиков, интеллектуальная система контроля с машинным обучением может использоваться на любом полупроводниковом производстве, где массово обрабатываются полупроводниковые кремниевые пластины. В России это фабрики по производству микроэлектроники – в том числе крупнейшие российские заводы в Зеленограде. В Томске подобную технологию могут применять «Микран» и НИИПП. Научное консультирование проекта осуществляет компания 50ohm Technologies.

Компании:

Читайте также: