ТУСУР получил грант в размере 160 млн рублей на развитие центра коллективного пользования

Фото: сайт ТУСУРа, tusur.ru

Как сообщает пресс-служба вуза, деньги пойдут на закупку оборудование для дооснащения ключевых подразделений объединенного ЦКП: научно-образовательного центра «Нанотехнологии» и НИИ микроэлектронных систем и лаборатории печатной электроники (подразделения специализируются на дизайне, разработке и изготовлении изделий микроэлектроники, СВЧ-измерениях, а также создании материалов и устройств для печатной электроники).

– Университет приобрел уникальное измерительное оборудование – векторный анализатор цепей с возможностью анализа характеристик СВЧ-устройств в диапазоне частот до 67 ГГц и высокочастотный осциллограф с полосой пропускания 13 ГГц, – сообщил проректор по научной работе и инновациям ТУСУРа Антон Лощилов. – Введены в эксплуатацию установки синтеза и анализа материалов для печатной электроники: порошков субмикронной дисперсности и функциональных композиций на их основе. В ближайшее время планируется приобретение системы плоттерной печати, позволяющей выполнять изготовление СВЧ-узлов и элементов аддитивным способом.

Помимо этого, в рамках гранта уже приобретено оборудование для дооснащения НОЦ «Нанотехнологии» на сумму порядка 60 миллионов рублей. По словам директора центра Евгения Шестерикова, были закуплены установка быстрого термического обжига, которая необходима для вжигания напыленных слоев при создании низкоомных контактов с полупроводниковыми слоями; установка плазмохимического травления для создания рельефа на полупроводниковых структурах и травления напыленных диэлектриков и металлов; установка плазмохимического осаждения, с помощью которой формируют диэлектрические слои на полупроводниковой пластине. Все оборудование – российского производства.

– После дооснащения центра мы сможем оказывать полный цикл услуг по разработке и производству полупроводниковых приборов и микросхем в интересах заказчика. В первую очередь речь идет об эксклюзивных микросхемах с предварительной научной проработкой, которую сложно реализовать на серийном заводе, – заявил директор НОЦ «Нанотехнологии» Евгений Шестериков.

Для полноценного запуска нового оборудования осуществляется модернизация так называемых «чистых» помещений НОЦ и увеличение их площади, подводятся инженерные коммуникации. Планируется, что в обновлённом режиме центр начнёт работать в сентябре 2020 года.

ТУСУР планирует создать многопрофильный центр микроэлектронных систем – проект в 2019 году получил поддержку в Совете Федерации. Главной целью центра является адресная подготовка дизайнеров и технологов в области наноэлектроники и радиофотоники, а также разработка отечественной электронной компонентной базы мирового уровня.