Томский ученый разрабатывает новый метод неразрушающего контроля полупроводников

Источник фото: сайт ТГУ

Как сообщает пресс-служба Томского госуниверситета, сотрудник лаборатории детекторов синхротронного излучения Александр Винник работает над созданием метода неразрушающего контроля пластин, используемых в качестве основы для полупроводников. Новый подход, основанный на применении ИК-излучения, позволит существенно сократить финансовые затраты и время на исследование дефектов в структуре пластин.

Проект разрабатывается при поддержке программы УМНИК Фонда содействия инновациям, результатом работы должен стать прототип стенда и программно-аппаратного комплекса для автоматизированного контроля дефектности полупроводниковых пластин.

– Принцип работы основан на измерении пространственного распределения интенсивности инфракрасного излучения ближнего диапазона, проходящего через исследуемый объект. Это позволит бесконтактно выявлять объемные и поверхностные дефекты в полупроводниковых пластинах и структурах проводников. При анализе изображения нейронные сети помогут определять местоположение, размер и тип дефекта по всей площади исследуемого объекта. С помощью данного метода можно будет тестировать и готовую продукцию, – пояснил Александр Винник.

В числе потенциальных заказчиков готового продукта названы производители монокристаллов и полупроводниковых пластин (АО «Гиредмет» и ООО «Лассард») и интегральных схем (АО «Микрон»).

«Лаборатория детекторов синхротронного излучения ТГУ создана при поддержке гранта правительства РФ. На базе лаборатории реализуется масштабный проект «Разработка фундаментальных основ физики и технологии радиационностойких полупроводниковых структур и создание на их основе многоэлементных детекторов для обеспечения исследований и исследовательской инфраструктуры синхротронного центра 4+ поколения «СКИФ» и других «мегасайенс» проектов в РФ. Наличие ультрасовременного синхротрона позволит российским ученым проводить исследования нобелевского уровня», – утверждается в сообщении вуза.