Томский вуз создает установку для автоматизации покрытий интегральных схем — 26.11.2025

Разработкой заинтересовались НПФ «Микран» и АО «НИИПП».

Компании:
Автоматизация покрытий интегральных схем

Источник изображения: сайт ТУСУРа

Как сообщает агентство «Интерфакс», сотрудник Томского университета систем управления и радиоэлектроники предложил способ улучшения характеристик установок электрохимического осаждения многослойных покрытий.

«В настоящее время на большинстве производств в этих целях применяются ручные установки. Это приводит к низкой производительности процесса и плохой воспроизводимости качества покрытий. Аспирант ИРЭТ ТУСУР Александр Шестериков разрабатывает установку, которая позволит автоматизировать процесс», – рассказали в пресс-службе вуза.

Предложенный аппарат включает в себя систему контроля параметров растворов и манипулятор, точно перемещающий пластины между химическими реакторами. Отмечается, что отказ от ручного переноса пластин позволит обеспечить герметичность установки при проведении процесса и полную откачку продуктов реакции вентиляционной системой, что положительно скажется на здоровье операторов.

В вузе утверждают, что подобные установки будут существенно превосходить «ручные» зарубежные и отечественные аналоги в части себестоимости и производительности. Разрабатываемый аппарат ориентирован на промышленное производство многослойных покрытий и может применяться в электрохимических производствах, при покрытии металлических изделий, а также в научно-образовательных центрах.

Компании:

Читайте также: